다시 뛰는 공정도시 서울!

문서번호 대기질통합분석센터-25230 결재일자 2022. 9. 27. 공개여부 부분공개(5) 방침번호 시 민 주무관 미세먼지연구팀장 대기질통합분석센터장 손지환 하광태 09/27 최용석 『입자상모바일랩』 `22년 연간 정도관리 결과 보고 2022.9. 서울시보건환경연구원 (대기질통합분석센터) 『입자상모바일랩』 `22년 연간 정도관리 결과 보고 입자상모바일랩 측정장비의 정상적인 운영을 위한 AMS, BC, SMPS, 등속흡입시스템, CO2 측정기에 대한 연간점검 및 교정을 실시하고 진행결과를 보고함 I 점검 개요 일 시: 2022.8.30 ~ 2022.9.1 장 소: 서울시보건환경연구원 점검 목적: 측정장비 감도 최적화 및 정확도 재고를 통하여 성능을 극대화하여 측정자료의 신뢰성 확보 대상기기 대상기기 분석항목 분석방법 HR-TOF-AMS (Aerodyne Research, USA) 에어로졸 비행시간질량분석기 (Time of flight) SMPS (TSI, USA) 에어로졸 전기 이동도 분석 BC 측정기 (AE33,　Magee, Slovenia) Black Carbon 광학적투과법 등속흡입시스템 (APM, Korea) 가변노즐방식 시료 등속흡입 및 균등분배 CO2 (Li-COR, USA) CO2 비분산 적외선 분광법 Ⅱ 점검 내용 및 방법 HR-TOF-AMS ？ 개요 - 주요 부품들에 대한 전반적인 점검/세척 및 교체 작업을 실시하여 측정기기 상태 값이 정상범위에 있는지 확인 - 분석 장비의 데이터 신뢰성을 높이기 위하여 부품 점검 후 NH _{4} NO _{3}를 이용한 교정 작업을 실시하고 이를 확인 ？ 방법 - 측정기기 점검(H/W) - 측정기기 점검(S/W) - 측정기기 확인: 교정 및 검증 ？ 측정기기 점검(H/W) - PTOF Chamber 점검 · PTOF Chamber 분해 · Lint free wiper를 사용하여 내부 청소 - Chopper Flange 점검 · Chopper flange 분해 · Servo motor 점검 · Spin motor 점검 - Pressure Control Inlet 부 점검 · Pinhole 점검 · O-ring 점검 - Vaporizer 온도 점검 · Vaporizer 온도 최적화 진행 - MD1 Pump 회전수 최적화 진행 - 모든 부품 분리하여 Overhaul 점검 · 모든 부품 분리하여 외관 청소 및 내부 보드 먼지 제거 - Lens alignment 진행 ？ 측정기기 점검(S/W) - Baseline 최적화 · Mass spectrum의 Baseline 및 Single ion 최적화 작업 실시 - 최신 소프트웨어 설치 확인 · AMS-DAQ 소프트웨어 최신버전 설치 확인 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - Lens alignment · 목적 : HR-TOF-AMS 내부로 유입되는 입자의 크기를 결정하는 Aerodynamic Lens는 입자가 유입되면 Vaporizer까지 입자 빔을 생성하고 일직선으로 유입시켜 분석 ※ AMS의 이동설치를 자주 진행할 경우 Aerodynamic Lens의 alignment가 틀어지는 경우가 발생하여 주기적인 확인 필요 · Lens alignment에 사용된 표준물질: NH _{4} NO _{3} · Lens alignment 과정 : NH _{4} NO _{3}를 AMS에 연속으로 주입하며 유입 구에 설치된 alignment plate의 볼트로 상하 좌우를 움직이며 NH _{4} NO _{3}의 시그널이 가장 높은 구간으로 설정 ※ 입자발생기로부터 AMS로 유입되는 46(NO2+)의 시그널을 모니터링 하며 설정 그림 1. Lens alignment 진행 - Mass calibration · 목적: 이온의 질량에 따른 비행시간의 차이로 분석하는 HR-TOF-AMS 에서 측정할 수 있는 4에서 317 m/z의 질량 범위 중 정확한 질량의 기준을 정하기 위하여 일반적으로 대기 중 많이 측정 ※ Filament와 Vaporizer에서 측정되는 N+, N2+, W+ Peak를 이용하여 Mass calibration을 진행 ※ Mass calibration에 사용된 기준 물질은 N+(14.00), N2+(28.0065), W+ (183.9509) 임 · Mass calibration 과정: HR-TOF-AMS의 인렛 단에 Filter를 설치하여 Filter air를 유입시키며 진행하며, N+, N2+, W+ 의 크기가 ±78 ppm이 넘지 않아야 함 ※ 질량교정 결과 Bin = m x sqrt(m/z) + b; m:2823.80, b: -4022.77를 산정하여 적용 그림 2. Mass calibration 결과 - Single ion, baseline · 목적: AMS에서는 측정된 MS 시그널을 정량화하기 위하여 Single ion에 대한 intensity를 측정 ※ Single ion은 검출기에서 측정되는 단일 이온의 평균 세기를 측정하여 입자의 농도 정량에 사용 · Single ion 과정 HR-TOF-AMS의 인렛 단에 Filter를 설치하여 Filter air를 유입시키며 진행하며 검출기의 baseline과 단일이온(single ion)의 면적을 측정하여 산정 ※ 그림 3과 같이 질량대전하비(m/z)에 따른 이온의 면적과 baseline을 27,000회 이상 측정하여, SI = 1.339 mVns, baseline : 6,480 bins로 산정·적용 그림 3. Single ion 결과 - 이온화 효율 교정 (Ionization efficiency calibration) · 목적: 이온화 효율은 입자 발생기를 통하여 NH _{4} NO _{3} 다 분산 입자를 발생시키고 DMA를 거쳐 300nm 크기의 단 분산 입자를 CPC와 AMS에서 동시에 측정하여 AMS에서 이온화 되는 효율을 계산 ※ 진공을 풀고 PTOF chamber 및 chopper flange를 점검하였기 때문에 진공이 다시 잡힌 상태에서의 이온화 효율 점검이 필요 · 이온화 효율 교정 과정: 이온화 효율은 입자 발생기를 통하여 NH _{4} NO _{3} 다 분산 입자가 발생되고 DMA를 거쳐 300nm 크기의 단 분산 입자를 CPC와 AMS에서 동시에 측정하여 AMS에서 이온화 되는 효율을 계산 ※ CPC에서 측정되는 입자의 개수를 100개 ~ 1000개 까지 농도를 변화하며 측정하였으며 결과는 그림 4와 그림 5에 제시 ※ 이온화효율 결과 값은 AMS와 CPC에서 측정된 결과에 대해 1차 회귀직선을 산출하여 산정(7.0953e-8)하여 적용 그림 4. Ionization efficiency 결과 그림 5. Ionization efficiency 결과 - 입자크기 교정 (size calibration) · 목적 : 입자 크기 교정은 이온화효율과 마찬가지로 입자 발생기를 통하여 NH _{4} NO _{3} 다분산 입자가 발생되고 DMA를 이용해 100-650nm 범위로 주입하여 측정결과를 확인 ※ 진공을 풀고 PTOF chamber 및 chopper flange를 점검하였기 때문에 진공이 다시 잡힌 상태에서 입자 크기의 측정결과에 대한 점검할 필요가 있음 · 입자 크기 교정 과정: 입자 크기 교정은 DMA를 거쳐 주입된 정확한 크기의 입자를 AMS에 주입하여 AMS에서 측정된 입자의 도달 시간을 측정 ※ 질량에 따라 가벼운 입자는 검출기에 빨리 도달하고 무거운 입자는 검출기에 늦게 도달하기 때문에 측정된 결과로 교정 값 계산 가능 ※ AMS에서 사용하는 진공 공기역학적 직경은 식 1.에 의하여 계산 ------------- 식 1 VL = Gas Velocity after lens (m/s) Va = Gas Velocity in lens (m/s) Dνa = vacuum aerodynamic diameter of NH4NO3 (nm) D = empirical parameter known as scale diameter (nm) b = empirical parameter 그림 6. 입자크기 교정 결과 그림 7. 입자크기 교정 결과 · 입자 크기 교정 결과 입자 크기 교정 결과에 따라 Gas velocity after aerodynamic lens(m/s) : 429.79, Gas velocity inside aerodynamic lens : (m/s) 1.0789, Dfor particle velocity calculation : 18.461, b for particle velocity calculation 0.43246를 적용 · 입자 크기 교정 결과 확인 입자 크기 교정 후 교정결과를 확인하기 위하여 200nm, 400nm 크기의 PSL(Poly Styrene Latex, m/z 51) 입자를 사용하여 교정결과를 확인 그림 8. PSL 200nm 그림 9. PSL 400nm - W-mode 확인 · 목적 : HR-TOF-AMS는 TOF chamber를 V자로 비행하는 V-mode와 W자로 비행하는 W-mode 두 가지가 있고, 일반적인 V-mode 외 W-mode(고분해능분석)에 대한 성능의 확인도 필요 ※ W-mode의 질량교정을 진행하고 시그널을 확인(그림 10) 그림 10. W-mode 질량교정 SMPS ？ 점검개요 - 주요 부품들에 대한 전반적인 점검/세척 및 교체 작업을 실시하여 측정기기 상태 값이 정상범위에 있는지 확인함 - 유량 교정 실시 ？ 점검방법 - 측정기기 점검(H/W) - 측정기기 점검(S/W) - 측정기기 확인: 교정 및 검증 ？ 측정기기 점검(H/W) - 내, 외부 청소 · 장비 분해하여 내, 외부 청소 · DMA Electrode 청소 - 소모품 교체 · HEPA 필터 교체 - HR-TOF-AMS 연동 테스트 · PSL 200nm, 400nm 입자 이용하여 입자 생성 확인. ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - 유량 교정 · 목적 : Sheath flow는 내부 유량계로 측정되고 Impactor flow는 Impactor에 걸리는 압력값을 적용한 적정 시료채취 유량을 산출 ※ SMPS는 Impactor flow, Sheath flow 두 가지 유량이 표시되는데 주기적인 교정을 통하여 농도 산출오차를 최소화 · Impactor flow 교정 절차: Impactor flow 교정을 진행하기 위해서는 별도의 유량계를 인렛 단에 설치해야 하며 인렛 단에서 압력 0.5 kPa부터 6kPa까지 7단계의 포인트를 측정하여 교정 ※ SMPS의 Impactor flow는 Impactor 부의 압력계를 이용하여 유량으로 환산하여 사용 그림 11. Impactor flow 교정 · Sheath flow 교정 절차: Sheath flow는 1LPM에서 30LPM의 범위에서 교정을 진행, Sheath flow와 Impactor flow의 적정 비율은 5:1에서 10:1의 비율이 유지되어야 하며 해당 비율을 넘어가면 측정결과의 오차가 발생하기 때문에 주기적인 교정이 필요 ※ SMPS의 Sheath flow는 DMA Electrode에서 에어로졸의 반대방향으로 흐르며 입자를 가운데로 모아주는 역할 그림 12. Sheath flow 교정 그림 13. Sheath flow 교정 후 확인 BC 측정기(AE33) ？ 점검개요 - 주요 부품들에 대한 전반적인 점검/세척 및 교체 작업을 실시하여 측정기기 상태 값이 정상범위에 있는지 확인함 - 분석 장비의 데이터 신뢰성을 높이기 위하여 부품 점검 후 Neutral Density Oprical Filter를 이용한 작업을 실시하고 이를 확인함 ？ 점검방법 - 측정기기 점검(H/W) - 측정기기 점검(S/W) - 측정기기 확인: 교정 및 검증 ？ 측정기기 점검(H/W) - Cyclone 점검 · Cyclone 분해 · Wiper를 사용하여 내부 세척 - Catridge Filter 점검 · Catridge Filrer 상태 확인 - Optical Chamber 점검 · Opitcal Chamber 분해 · 내부 오염부 세척 - Filter Tape Roll 교체 · PN 8060 Filter Tape 교체 · Advanced 메뉴 상태값 확인 - 유량 점검 · 장비 유량 확인 및 교정 진행 - Inlet Leakage 점검 · Leak 테스트 진행 - Neutral Density Optical Filter Test 진행 · 광원부 성능 테스트 진행 ？ 측정기기 점검(S/W) - 장비 가동 시 상태화면 및 장비 상태창 확인 · 계측기 상태 코드 번호와 컬러 아이콘 홈 화면 표시 확인 · 색상으로 표시된 아이콘 상태 해석이 있는 화면 확인 - 상태 플래그 확인 · 16-비트 값으로 구성된 상태 플래그 표시 확인 - Stability 테스트 진행 · 공기의 흐름이 없는 조건으로 light source 및 detector 성능테스트 1) “Operation”/“General” 화면으로 이동하여 Stability test 버튼을 눌러 테스트 진행 2) 테스트 진행 (20분 소요) 이후 테스트 보고서가 생성되고 화면에 표시 3) Spot1의 PPBC값이 채널6의 경우 450ng/m3 미만 결과값 확인 - Clean Air 테스트 진행 · 내장 필터를 사용하여 공기 흐름 조건에서의 Stability 및 Performance 테스트 진행, 광학 경로에 먼지나 오염이 없는지 확인 1) “Operation”/“General” 화면으로 이동하여 Clean air test 버튼을 눌러 테스트 진행 2) 테스트 진행 (20분 소요) 이후 테스트 보고서가 생성되고 화면에 표시 3) Spot1의 PPBC값이 채널6의 경우 550ng/m3 미만 결과 값 확인 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - Manual Flow Calibration · 평가 방법 1) 테스트를 위해서는 AE33의 표준 액세서리로 제공되는 Flow Calibration Pad 와 외부에서 샘플 입구 포트에 연결할 유량계 준비 2) "Operation" / "General" 화면으로 이동하고 "Flow Cal" 버튼을 눌러 테스트를 시작 3) 메시지가 표시되면 필터 테이프를 제거하고 노치가 사용자를 향하도록 고무 유량 보정 패드를 설치 4) 외부 인렛에 유량계를 연결 5) 2LPM, 3LPM, 5LPM 단계별 유량 측정 진행 6) 각 유량별 실제 유량값 입력 7) 샘플 유량 확인 및 리크 테스트 진행 - Neutral Density Optical Filter test · 평가 방법 1) 테스트를 위해 4개의 서로다른 광학 요소로 구성된 ND Filter Kit 필요 2) "Operation / "General" 화면으로 이동합니다. 측정이 실행 중이면 'Stop'을 시작 3) "ND 테스트" 버튼을 눌러 테스트를 시작 4) ND filter kit에 표시된 일련 번호를 입력 하라는 새화면이 나타남 5) ND 테스트를 처음 수행한 경우 교정 매개변수 파일을 입력하라는 메시지가 표시됨, ND filter kit에 포함된 USB메모리 스틱을 장비에 삽입 6) ND filter "V"홈이 앞쪽을 향하도록 0번호 삽입 7) 테스트가 끝나면 "확인" 버튼 누른후 filter 제거 및 ND filter 1,2,3번호 동일한 절차를 반복 등속흡입시스템 ？ 점검개요 - 주요 부품들에 대한 전반적인 점검/세척 및 교체 작업을 실시하여 측정기기 상태 값이 정상범위에 있는지 확인함 - 강, 약 유량을 공급하여 정상범위의 측정이 진행되는 것을 확인. ？ 점검방법 - 기기 점검(H/W) - 기기 확인: 검증 ？ 기기 점검(H/W) - 내, 외부 청소 · 외장 덮개 분해하여 내, 외부 청소 - 동작 확인 · 기기 동작 확인 ？ 기기 확인: 검증 - SMPS 연동 테스트 · 목적: 바람세기에 따라 내부로 유입시키는 입자의 양을 조절하여 일정한 양의 시료채취 유량이 측정장비 내부로 유입 ※ 등속흡인 인렛은 입자상 이동측정차량에 설치된 기기로 이동측정차량이 진행할 경우 바람의 영향으로 인해 입자가 손실되는 것을 방지하는 장비 · 절차 : 바람세기 변화에 따른 노즐의 단면적 변화를 확인하여 정상 상태임을 확인을 할 수 있으며 이를 SMPS와 연동하여 측정함으로써 정지 상태, 미풍, 강풍의 결과가 유사하게 측정되는 것을 확인 ※ 바람의 세기가 강할 경우 펌프가 동일한 유량으로 유입하면 입자의 손실이 발생할 수 있는데 이를 방지하기 위해 등속흡인 인렛은 유입되는 면적을 늘려 많은 양을 유입시켜 입자의 손실을 방지 · 선풍기 바람세기를 정지, 미풍, 강풍 3가지를 테스트 하였으며 흡인 유량을 1LPM (SMPS 용), 3LPM (AMS 용), 5LPM (AE33 용)으로 변경하여 측정(표 1 ~ 표 3). 연간 점검 시 비가 왔기 때문에 1 ug/m3 정도로 먼지 농도가 낮게 측정되었고 2회씩 측정. 표 1. 선풍기 정지상태일 때 유량에 따른 결과 선풍기 정지상태 1 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 79.4 2970 0.673 2차 91.3 3260 1.11 평균 85.35 3115 0.8915 선풍기 정지상태 3 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 98.5 5690 2.52 2차 95.5 3950 1.54 평균 97 4820 2.03 선풍기 정지상태 5 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 91.6 3850 1.32 2차 89.4 3400 1.09 평균 90.5 3625 1.205 표 2. 선풍기 미풍일 때 유량에 따른 결과 선풍기 미풍 1 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 77.3 3630 0.772 2차 79.7 3480 0.809 평균 78.5 3555 0.7905 선풍기 미풍 3 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 87.1 3620 1.09 2차 81 3750 0.918 평균 84.05 3685 1.004 선풍기 미풍 5 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 81.6 3490 0.879 2차 79.4 3720 0.862 평균 80.5 3605 0.8705 표 3. 선풍기 강풍일 때 유량에 따른 결과 선풍기 강풍 1 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 75.2 4220 0.840 2차 79.3 4020 0.927 평균 77.25 4120 0.8835 선풍기 강풍 3 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 88.0 4750 1.47 2차 87.5 4610 1.39 평균 87.25 4680 1,44 선풍기 강풍 5 LPM (등속흡인 인렛 유량) CMD(nm) Total Conc(#/cm ^{3}) Mass Conc(ug/m ^{3}) 1차 87.5 4070 1.24 2차 85.1 3830 1.08 평균 86.3 3950 2.32 그림 14. 바람세기 미풍 단면적 그림 15. 강풍 단면적 그림 16. 미풍 SMPS 결과 그림 17. 강풍 SMPS 결과 CO2 측정기 ？ 점검개요 - 주요 부품들에 대한 전반적인 점검/세척 및 교체 작업을 실시하여 측정기기 상태 값이 정상범위에 있는지 확인함 - 분석 장비의 데이터 신뢰성을 높이기 위하여 부품 점검 후 CO2 가스를 이용한 교장 작업을 실시하고 이를 확인함 ？ 점검방법 - 측정기기 점검(H/W) - 측정기기 확인: 교정 및 검증 ？ 측정기기 점검(H/W) - Inlet filter 점검 ？ Inlet filter 점검 및 교체 - 장비 외관 점검 ？ 장비 외관 상태 확인 - Optical bench 점검 ？ 내부 오염부 세척 - 내장 펌프 점검 ？ 내장 펌프 작동 상태 확인 - CO2 가스 교정 진행 ？ CO2 가스 400ppm 교정 및 1000ppm 농도 수준 확인 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - Span Calibration ？ 평가 방법 : 1) CO2 Span Calibration 진행 시 주변 대기 농도 수준에 가까운 가스를 선택 합니다. 2) 분당 0.5L 속도로 분석기에 가스를 주입 합니다. 3) Span 가스의 CO2 농도를 소프트웨어에 입력 합니다. 4) CO2 판독값이 안정화 되면 Span CO2 버튼을 클릭합니다. Ⅲ 평가 및 결론 HR-TOF-AMS ？ 측정기기 점검(H/W) - PTOF Chamber 점검 · PTOF Chamber 분해 후 청소 완료 - Chopper Flange 점검 · Servo, Spin motor 점검 후 선 정리 완료 - Pressure Control Inlet 부 점검 · Pinhole 점검 및 교체 - Vaporizer 온도 점검 · Vaporizer 온도 600℃, Power 82 적용 - MD1 Pump 회전 수 최적화 · MD1 회전 수 최적화하여 회전수 14 적용, LensP 1.08 Torr - 모든 부품 분리하여 Overhaul 점검 · 모든 부품 분리하여 외관 청소 및 내부 보드 먼지 제거 완료. - Lens alignment 진행 · 모든 부품 분리하여 외관 청소 및 내부 보드 먼지 제거 완료. ？ 측정기기 점검(S/W) - 소프트웨어 최신 버전 확인 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - 질량교정 결과 Bin = m x sqrt(m/z) + b; m:2823.80, b: -4022.77를 산정하여 적용함 - Single ion과 baseline을 16,000회 이상 측정하여, SI = 1.339 mVns, baseline : 6,480 bins로 산정하여 적용함 - 모든 점검 후 이온화효율 교정을 진행하였고 AMS와 CPC에서 측정된 결과에 대해 1차 회귀직선을 산출하여 산정(7.1213e-8)하여 적용 - 입자 크기 교정 결과에 따라 Gas velocity after aerodynamic lens(m/s) : 429.79, Gas velocity inside aerodynamic lens : (m/s) 1.0789, Dfor particle velocity calculation : 18.461, b for particle velocity calculation 0.43246를 적용하였고 PSL 입자로 이를 검증 SMPS ？ 측정기기 점검(H/W) - 내, 외부 청소 · 장비 분해 후 내,외부 청소 완료 · DMA Electrode 분해 후 청소 완료 - 소모품 교체 · Sheath flow에 사용되는 HEPA 필터 교체 완료 - HR-TOF-AMS 연동테스트 · 입자발생기를 통해 PSL 200nm, 400nm 입자를 생성하여 AMS에서 표시되는 피크를 확인함 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - Impactor flow 교정 · Impactor flow 교정을 진행하였고 교정 후 테스트를 진행하여 정상범위에 들어옴을 확인 - Sheath flow 교정 · Sheath flow 교정을 진행하였고 교정 후 테스트를 진행하여 정상범위에 들어옴을 확인 BC측정기(AE33) ？ 측정기기 점검(H/W) - 측정기기내부에 있는 부품 및 펌프들의 기능을 최적화하기 위해 세척 및 내부점검을 진행하고, 측정기기의 상태 값들이 정상범위를 확인 OPERATION ？ ADVANCED Alarm Status 표 4. AE33 주요 상태 값 및 Alarm Status ？ 측정기기 점검(S/W) - 측정기기(S/W) 점검으로 16-비트 값으로 구성된 상태 플래그 표시 확인 후, 일반 공기의 흐름이 없는 조건으로 light source 및 detector Stability 테스트 및 내장 필터를 사용하여 공기 흐름 조건에서의 Stability 및 Performance Clean Air 테스트 진행 Stability Test Clean Air Test 표 5. Stability / Clean Air Test 진행 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - 목적: Neutral Density Optical Filter 테스트는 광학 시스템의 성능, 즉 광원에서 나오는 다양한 빛의 강도에 대한 광학 검출기의 반응을 확인하는데 사용 - 절차: 테스트는 각 파장에서 유리에 대하여 측정된 감쇠 값과 제조 시점의 값을 비교하며, 데이터는 선형성 방법으로 분석 되며 기울기가 1기준으로 10% 이상 다르면 테스트는 실패 ※ ND Filter는 4개의 서로 다른 광학 유리를 사용하며, 각각 안정하고 표준-추적 가능한 광학 흡수력을 갖는 유리가 장착 - 유량 교정은 2, 3, 5L/min 세 단계로 각 단계별 실제 유량 및 장비 지시값을 비교하여 교정을 진행함 Optical Test Flow Calibration 표 6. Optical Test / Flow Calibration 진행 등속흡입시스템 ？ 기기 점검(H/W) - 내, 외부 청소 · 외장 덮개 분해 후 내, 외부 청소 - 동작 확인 · 제어 장치 통하여 단면적 컨트롤, 유량 컨트롤 동작 확인 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - SMPS 연동 테스트 · 등속흡인 인렛 외부에 선풍기를 설치하여 정지 상태, 미풍, 강풍 변화를 주며 AMS, SMPS, AE33의 인렛에서 연동테스트를 진행 CO2 측정기 ？ 측정기기 점검(H/W) - 측정기기내부에 있는 부품 및 펌프들의 기능을 최적화하기 위해 세척 및 내부점검을 진행하고, 측정기기의 상태값들이 정상범위를 확인함 상태값 Alarm Status 표 7. Li-850 주요 상태값 및 Alarm Status ？ 측정기기 확인 : 검증 - 측정기기(S/W) 점검으로 교정시 측정 상태 화면 및 Advanced 상태 값 확인. 상태 화면 Advanced 표 8. 상태화면 / Advanced 팩터 값 확인 ？ 측정기기 확인: 교정 및 검증 - 분석계의 교정은 농도를 알고 있는 교정용 가스를 사용한다. 교정용 가스로는 제로 검정가스 와 스팬조정용 가스가 필요하고, 교정용 가스는 성분농도가 안정되어 있고 교정치의 정확도가 아주 높으며 신뢰성이 있는 것이어야 한다. 1) 제로가스를 설정 유량으로 주입해서 지시 값 안정 후 영점 조정한다. 2) 스팬가스를 설정 유량으로 주입해서 스팬 조정한다. 3) 필요에 따라 반복한 후 제로 및 스팬 교정값이 일치 할 때까지 반복 검증한다. 스팬가스 주입 Span Calibration 표 9. 스팬가스 주입 / Span Calibration 진행 첨 부 1. 연간점검 절차 사진 각 1부 2. 연간점검 목적 및 방법 각 1부. 끝.

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